当前在线人数13657
首页 - 分类讨论区 - 学术学科 - 电子工程版 -阅读文章
未名交友
[更多]
[更多]
文章阅读:Re: 请教:光刻里给定mask形状&尺寸,有什么软件能算出成像?
[同主题阅读] [版面: 电子工程] [作者:Sean88] , 2021年04月25日04:15:04
Sean88
进入未名形象秀
我的博客
[上篇] [下篇] [同主题上篇] [同主题下篇]

发信人: Sean88 (sean), 信区: EE
标  题: Re: 请教:光刻里给定mask形状&尺寸,有什么软件能算出成像?
发信站: BBS 未名空间站 (Sun Apr 25 04:15:04 2021, 美东)

工业界主流synopsys s-litho, 另外还有kla-tencor的prolith和panoramic tech的
hyperlith

基本没有开源的,开源的也基本不靠谱


【 在 askagain (aa) 的大作中提到: 】
: 请教:光刻里给定的mask形状&尺寸,有什么软件能算出成像?
: 有什么现成的(开源)软件吗?
: 想用来做 simulation.
: 谢谢!



--
※ 来源:·WWW 未名空间站 网址:mitbbs.com 移动:在应用商店搜索未名空间·[FROM: 2a02:810d:1540:]

[上篇] [下篇] [同主题上篇] [同主题下篇]
[转寄] [转贴] [回信给作者] [修改文章] [删除文章] [同主题阅读] [从此处展开] [返回版面] [快速返回] [收藏] [举报]
 
回复文章
标题:
内 容:


未名交友
将您的链接放在这儿

友情链接


 

Site Map - Contact Us - Terms and Conditions - Privacy Policy

版权所有,未名空间(mitbbs.com),since 1996