发信人: youbest (youbest), 信区: NanoST
标 题: 紧急求助电子束蒸发Au的参数
发信站: BBS 未名空间站 (Wed Jul 30 11:53:36 2008)

请各位用e-beam evaporator的兄弟姐妹帮我看看怎么办。
我要用e-beam蒸发了Au。设备是新的，但厂家没有提供具体参数。

现在我只有Ａｕ的密度，还缺少以下这些参数:
Tooling, Soak 1/2 Power & Ramp time & Soak time, Max power, 等等。

我在google上用各种词搜
索，也没有哪个网站有这么详细的。
如果哪位高人实验室有类似设备蒸发Ａｕ的具体参数设置，可否共享一下？非
常感谢。

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※ 修改:·youbest 於 Jul 30 12:10:30 2008 修改本文·[FROM: 137.30.]